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芯片/集成电路实验室建设方案
作为精密电子行业,对实验室的各方面技术指标都有非常严格的要求。且涉及到的专业之多、精度之高,是传统行业的实验室建设所无法比拟的。其中包括千级、百级甚至十级的净化系统及高精度的温湿度系统、EP级的工艺气体系统、超纯水系统、循环冷却水系统、静电接地系统、强电配电系统、通排风系统、FMCS监控系统、废气废水环保系统等。另外,还需要考虑实验室基础建筑的承重、层高、磁场、震动等重要因素,并且还需要考虑仪器入场及二次配工程的科学性与便捷性。因此,关于芯片、集成电路等电子精密行业的实验室在项目初期的设计阶段的全面科学就显的尤为重要
作为精密电子类工业,静电接地系统的达标与否也是非常关键的,接地导线的预埋位置也需要经过专业勘测和计算。
芯片的研究和测试需要的周期较长,在此过程中环境温湿度的稳定性就会显的异常重要。因此,对于恒温恒湿机组最好采用一用一备,这样就能避免其中一台机组出现故障而影响实验结果。
⑥废气处理系统
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